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管式低压淀积炉

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管式低压淀积炉

  手艺特点  Features  

· 低压与热壁工艺特征，成膜匀称性、致密性好 。

· LPCVD工艺特征，基片密排对成膜速率影响小，单管装片量大 。

· 更多温区设置，可靠包管片间匀称性 。

· 自力调理分段进气，填补气流耗尽效应 。

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