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创微微电子自主研爆发产的首批集成电路全自动湿法装备乐成交付客户

栏目:重大新闻 宣布时间:2021-07-22
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人生就是博(中国区)官方网站作为太阳能电池装备的先进企业,为实现工业结构优化,提升公司在相关领域的自主立异能力和研发水平,顺应产品生长路径向半导体装备领域延伸,公司的全资子公司常州捷佳创细密机械有限公司于2019年建设了半导体湿法工艺研究室,荟萃国际团队重点增强对集成电路湿法装备举行研发。随着国家近年来对集成电路的支持力度一直增强、市场的强劲需求、产品研发的推进,常州捷佳创细密机械有限公司于2020年9月投资建设了创微微电子(常州)有限公司,专门从事集成电路湿法洗濯工艺装备的研发、生产和销售,装备主要包括槽式及单晶圆湿法洗濯装备。

阻止现在,公司已取得主要客户在槽式湿法洗濯设惫亓批量订单,并于2021年7月21日乐成交付3套集成电路全自动槽式湿法洗濯装备至客户举行大批量生产。同时正在设计制造中的装备还包括了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式洗濯装备及相关隶属装备,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺办法,包括有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前洗濯及有机溶剂洗濯等,拥有Cassette 与Cassette less 两种类型,笼罩晶圆尺寸从100mm~200mm。

本次首批半导体洗濯装备的乐成交付,实现了公司在战略蹊径上的再次逾越,从光伏装备设计及制造往泛半导体及半导体行业的拓展,也将成为国家集成电路装备国产化新的主力军。

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