克日,由创微微电子(常州)有限公司研爆发产的8吋Cassette-less洗濯装备顺遂交付至上海积塔半导体有限公司并最先验证阶段,运行情形优异。近期创微乐成中标该客户后续10余台洗濯装备重复订单,制程涵盖8吋至12吋。该批装备将用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、洗濯以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺,标记着创微在湿法洗濯领域已抵达国际先进水平。
创微自2020年建设以来,依托人生就是博(中国区)官方网站集团平台,共享人才及手艺,专注于整合海内外湿法手艺与资源,引进台湾地区、韩国、日本等专家团队。研发团队攻坚克难,自主立异,在短短一年的时间里,先后推出4-8吋全自动Cassette type洗濯装备、8吋全自动Cassette-less洗濯装备及4-8腔Single tool洗濯装备。乐成导入青岛芯恩、成都德州仪器、上海积塔等海内头部芯片企业并获得重复性订单。同时强化软件实力,协同海内多家供应商着力开发验证要害零部件,取得了多项“卡脖子”手艺的重大突破。
着眼未来,公司已正式进军12吋高阶Single及Wet bench装备领域,与国际一线大厂睁开直接竞争。在扩大装备应用面的同时,依附高效能的自动化设计,高产能的生产排程软件,高稳固性的传输系统等手艺,团结高质量的品质系统,为客户举行国产要害零部件的质量把关,最终同宽大上下游厂商一道,配合为中国半导体工业的生长做出更多孝顺。