克日，苏州市、无锡市、常州市工业和信息化局配合宣布2023年苏锡常首台（套）重大装备拟认定公示名单
。创微微电子（常州）有限公司的单晶圆刻蚀洗濯装备乐成通过公示认定，实现首台套零突破
。 

苏锡常首台（套）重大装备认定旨在勉励和指导装备制造企业开展手艺立异，起劲研制具有自主知识产权、整机性能或焦点手艺指标实现重大突破，抵达海内领先或国际先进水平的高端装备和要害部件
。该认定不但是对企业手艺实力和立异能力的认可，也是对企业为推动制造业高质量生长所作孝顺的一定
。

创微微电子（常州）有限公司建设于2020年，是常州捷佳创细密机械有限公司的全资子公司、具备海内先进手艺的半导体装备制造商
。公司集研发、设计、制造、销售于一体，所开发的工艺装备主要用于湿法工艺办法，包括光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、氮化硅刻蚀、炉管前洗濯等
。

此次入选的单晶圆刻蚀洗濯装备主要是使用洗濯工艺将晶圆外貌的残留去除，残留消融在洗濯液中，晶圆转动提供去除残留的离心力，在离心力的作用下洗濯液携带残留一起从晶圆的外貌甩出，抵达洗濯晶圆的目的
。该装备拥有多杯连动工艺腔、独创的CUP（杯罩）升降机构、多药液多功效工艺处置惩罚手臂、独吞供液要领及气液疏散结构等多项自主知识产权，现在已与多家着名企业告竣相助意向
。

首台（套）重大手艺装备是推动制造业高端化、智能化绿色化生长的主要抓手，未来，创微微电子（常州）有限公司将加速推动重大手艺装备攻关历程，进一步增强首台（套）重大装备研发应用，为装备制造业高质量生长做出一连孝顺
。