8ÔÂ26ÈÕÖÁ28ÈÕ£¬ÓÉ¿Æ´Ù»á¸ÆîÑ¿ó¹¤Òµ·Ö»áÖ¸µ¼¡¢¹â·üÁìÅÜÕßÁ¢ÒìÂÛ̳Ö÷ÀíµÄ¡°µÚ¾Å½ì¸ÆîÑ¿óÓëµþ²ãµç³Ø£¨³¤Èý½Ç£©¹¤Òµ»¯ÂÛ̳¡±ÔÚ½ËÕ³£ÖÝÊ¢´óÕÙ¿ª¡£ÈËÉú¾ÍÊDz©(ÖйúÇø)¹Ù·½ÍøÕ¾Éî¶È¼ÓÈë±¾´ÎÊ¢»á£¬²¢ÓÚ8ÔÂ28ÈÕÏÂÖçÀֳɳаìÁË´ó»áÌØÉèµÄÆóÒµÂÃÐл·½Ú£¬ÏòÀ´×ÔÌìϸ÷µØµÄÐÐҵר¼Ò¡¢Ñ§Õß¼°ÆóÒµ´ú±í¶´¿ªÁË´óÃÅ¡£

8ÔÂ28ÈÕ£¬ÔÚ¹«Ë¾ÊÖÒÕ×ܼàÊ¢½²©Ê¿µÄÇ××ÔÏòµ¼Ï£¬¹²¼Æ180ÓàÃû²Î»á¼Î±ö×ß½ø³µ¼ä£¬¶Ô¹«Ë¾ÏȽøµÄ¸ÆîÑ¿óµç³ØÖÐÊÔÏßÓëÒìÖʽᣨHJT£©µç³ØÖÐÊÔÏß¾ÙÐÐÁËÁã¾àÀëµÄÉî¶È²Î·ÃÓë½»Á÷¡£¹«Ë¾ÊÖÒÕÍŶÓÓëÓªÏúÍŶӵĶàλÏòµ¼¼°Í¬ÊÂҲϤÊý¼ÓÈë¡£
ÂÃÐмαöÊ×ÏȲ½ÈëµÄÊǹ«Ë¾ÒìÖʽᣨHJT£©µç³ØÖÐÊÔÏß¡£ÔÚÕâÌõ¸ß¶È×Ô¶¯»¯¡¢ÖÇÄÜ»¯µÄÁ¿²úƽ̨ǰ£¬¼Î±öÃÇÇåÎúµØ¹ÛĦµ½ÓÉÈËÉú¾ÍÊDz©(ÖйúÇø)¹Ù·½ÍøÕ¾×ÔÁ¦Éè¼Æ¡¢ÖÆÔìµÄ¶þÊ®Óą̀£¨Ì×£©½¹µã¹¤ÒÕ×°±¸£¬°üÀ¨ÏȽøµÄÏ´åªÖÆÈÞ×°±¸¡¢PECVD·Ç¾§¹è³Á»ý×°±¸¡¢PVD͸Ã÷µ¼µçĤװ±¸¡¢Ï¸ÃÜÍ¿²¼×°±¸ÒÔ¼°ÎÞË𼤹â·ÖƬµÈ¡£Ê¢½²©Ê¿Î§ÈÆ×°±¸µÄÊÖÒÕÓÅÊÆ¡¢¹¤ÒÕÊÊÅäÐÔÒÔ¼°ÔõÑùʵÏÖ¸ßЧ¡¢Ôȳơ¢µÍÏûºÄµØ´ó¹æÄ£Éú²úµÈÒªº¦ÎÊÌâ¾ÙÐÐÁËÏ꾡½â˵£¬ÈòλáÕßÉî¿ÌÏàʶµ½ÒìÖʽáÊÖÒÕÔõÑùͨ¹ý¸üÉٵŤÒÕ°ì·¨¡¢¸ü¸ßµÄת»»Ð§ÂÊÒÔ¼°¸üÓŵÄζÈϵÊý£¬³ÉΪÏÂÒ»´ú¹â·üÊÖÒÕµÄÓÐÁ¦¾ºÕùÕßÖ®Ò»¡£

Ëæºó£¬ÂÃÐв½¶ÓÒÆ²½ÖÁ¸ÆîÑ¿óµç³ØÖÐÊÔÏß¡£ÕâÀï·ºÆðµÄÊÇÃæÏòδÀ´¸ÆîÑ¿óµç³ØÒÔ¼°µþ²ãµç³ØÊÖÒյļâ¶Ë×°±¸½á¹¹¡£¼Î±öÃDz»µ«ÂÃÐÐÁË´óÃæ»ý¸ÆîÑ¿ó±¡Ä¤µÄÍ¿²¼¡¢Åçīװ±¸¡¢¼¤¹â¿ÌÊ´¡¢Õô¶Æ¡¢´Å¿Ø½¦Éä¡¢RPD/ALDµÈÈ«Á÷³Ì½¹µã×°±¸µÄÔËÐÐʵ¿ö£¬¸ü¸ÐÊܵ½ÁËÈËÉú¾ÍÊDz©(ÖйúÇø)¹Ù·½ÍøÕ¾ÔÚ¹¥¿Ë¸ÆîÑ¿óÖÊÁÏÎȹÌÐÔ¡¢´óÃæ»ýÖÆ±¸ÔȳÆÐÔÒÔ¼°Óë¾§¹èµ×µç³Ø¼¯³ÉµÈ¹¤Òµ»¯ÄÑÌâÉϵIJ»Ð¸Æð¾¢Óë¼áʵ³ÌÐò¡£Ê¢½²©Ê¿×ÅÖØÏÈÈÝÁ˹«Ë¾ÔõÑùͨ¹ý×ÔÖ÷Ñз¢µÄ×°±¸Æ½Ì¨£¬ÊµÏÖ¶ÔÃ×¼¶¸ÆîÑ¿ó¶à¾§±¡Ä¤ºÍ¿ç±ê×¼¹¦Ð§²ã׼ȷ¿ØÖÆ£¬´Ó¶øÌáÉýµç³ØµÄºã¾Ã¿É¿¿ÐÔÓëÐÔÄÜÒ»ÖÂÐÔ£¬Îª¸ÆîÑ¿óµç³ØÒÔ¼°Æäµþ²ãµç³ØµÄ¹æÄ£»¯Á¿²úµÓÚ¨Á˼áʵµÄ×°±¸»ù´¡¡£

ÏÖ³¡ÂÃÐл·½Ú¿¢Êºó£¬Ê¢½²©Ê¿¼°¹«Ë¾ÍŶÓÓëÒâÓÌδ¾¡µÄÂÃÐмαöÃÇÔٶȾÙÐÐÁËÇ×½üµÄ×ù̸½»Á÷£¬¾ÍÐÐÒµÅäºÏÌåÌùµÄÊÖÒÕÇ÷ÊÆ¡¢½µ±¾Â·¾¶µÈÒéÌâ½»Á÷ÁËÒâ¼û¡£
´Ë´ÎÆóÒµÂÃÐÐÔ˶¯£¬Ô¶²»Ö¹ÓÚÒ»´Î¼òÆÓµÄ²úÏßչʾ¡£ËüÊÇÒ»³¡¾Û½¹¸ÆîÑ¿óÓëÒìÖʽáÊÖÒÕÇ°ÑØÑݽøµÄ¡°Î¢Ëõ¿ÎÌá±£¬ÊÇÒ»´ÎÀíÂÛÓëʵ¼ùµÄÉî¶ÈÈںϣ¬¸üÊÇÒ»ÉÈ´°¿ÚÇåÎúÕÛÉä³öÈËÉú¾ÍÊDz©(ÖйúÇø)¹Ù·½ÍøÕ¾×÷ΪȫÇò¹â·ü×°±¸Áì¾üÕßÔÚÇý¶¯¹â·üÊÖÒÕÀå¸ïÖÐËùÊÎÑݵÄÒªº¦½ÇÉ«Óëǿʢ¸³ÄÜʵÁ¦¡£Î´À´£¬¹«Ë¾½«¼ÌÐø±ü³Ö¡°Éú³¤ÂÌÉ«¹¤Òµ£¬¹±Ï×Çå½àÄÜÔ´¡±µÄʹÃü£¬ÓëÏàÖúͬ°éЯÊÖ¹²¸°ÂÌɫδÀ´¡£