从SiC到硅基功率器件，一连斩获多家功率器件Fab整厂湿法装备订单
2024年，公司子公司创微微电子（常州）有限公司（以下简称：创微微电子）先后中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab整厂湿法装备项目；2025年，又乐成取得湖南某硅基功率器件Fab整厂湿法槽式洗濯装备订单。短短两年内，创微微电子在功率半导体领域实现从第三代半导体SiC到古板硅基功率器件的全线结构与跨平台验证，进一步夯实了公司在湿法装备领域的综合竞争力与国产替换优势。
一、一连中标，多地功率器件产线选择国产整线计划
2024年，创微微电子依附在槽式湿法洗濯与特殊外貌处置惩罚领域的手艺积累，乐成中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab，提供涵盖晶圆前处置惩罚、刻蚀后洗濯、金属及介质层洗濯、终端工艺洗濯在内的整厂湿法装备解决计划。
2025年，创微微电子再下一城，取得湖南某硅基功率器件Fab湿法槽式无篮洗濯装备整线订单，实现了从SiC到硅基功率器件Fab的跨平台复制与规�；既�。这也意味着，创微微电子的整线能力已经在海内多家功率器件厂完成落地和验证。
二、整厂湿法解决计划：从工艺到装备的一体化交付
本次整厂订单，创微微电子将为客户提供：
· 全流程湿法工艺笼罩：包括前洗濯、刻蚀后洗濯、金属/介质层间洗濯、终检前洗濯等要害环节。
· 槽式无篮湿法平台：兼容6吋/8吋功率器件产线，重点优化颗�？刂啤⒔鹗衾胱硬辛艏八∪毕�。
· 整线集成与自动化：与Fab EAP系统对接接口，实现装备状态监控与工艺数据追溯。
· 从导入到量产的全周期服务：涵盖工艺评估、联机验证、良率爬坡与恒久优化支持。
通过“工艺+装备+服务”的一体化交付模式，创微微电子资助客户在缩短导入周期的同时，提高良率与产线稳固性，降低整体拥有本钱。
三、SiC+硅基双轮驱动，助力国产功率半导体产线升级
随着新能源汽车、光伏、储能等应用的快速生长，功率器件对高耐压、高可靠性的要求一连提升。SiC功率器件加速放量的同时，硅基功率器件仍在大宗应用场景中施展主力作用。
创微微电子通过：
· 在SiC Fab的整线实践中积累的高要求外貌清洁与缺陷控制履历。
· 在硅基功率器件Fab中实现工艺平台和装备设置的优化与复制。
形成了笼罩SiC与硅基功率器件的双轮驱动产品与工艺能力，一连推动海内功率半导体产线的手艺升级与国产装备导入。
四、扎根湿法工艺，服务全球客户
未来，依托人生就是博(中国区)官方网站在新能源及半导体装备领域的工业结构，创微微电子将继续深耕：
· 槽式湿法洗濯及特殊外貌处置惩罚平台。
· 面向SiC、GaN及硅基功率器件的定制化工艺计划。
· 高自动化、智能化的整厂湿法解决计划。
在服务好现有海内客户的基础上，起劲拓展外洋市场合作时机，与更多功率器件厂商携手，推动中国湿法装备走向更高电压、更严苛可靠性和更大规模量产的应用场景，为全球功率半导体工业链孝顺“捷佳计划”“中国装备”的实力。
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