克日,公司传来重磅喜讯——首次将微纳米气泡水洗濯工艺应用于半导体/先进封装洗濯装备,且该装备已乐成出货至外洋,为全球高端器件细腻化洗濯交付全新解决计划,彰显中国半导体装备企业的手艺硬实力。

随着先进封装手艺迭代,半导体器件结构愈发细密,古板洗濯工艺已难以适配高端需求。公司深耕立异,将微纳米气泡水手艺与洗濯装备深度融合,打造出兼具高效、环保与精准优势的产品,实现高端装备出海突破。
装备焦点优势可拆解为两大维度,精准适配高端需求:
一、高效环保洗濯
以微纳米气泡水为焦点介质,无需化学试剂,绿色环保;依托其外貌电荷、低外貌张力特征,可精准去除带电微粒、深入微细结构清洁,搭配特定气源爆发的羟基自由基,能高效扫除有机污染,同时阻止线路图形坍塌。
二、高精度洗濯能力
可适配TSV、微细电极等细密工艺,实现AR=10:1高纵横比TSV产品洗濯与刻蚀;能去除28nm级细小颗粒及金属杂质,50-100nm颗粒去除率超99%,支持双面掩膜同时洗濯,提升效率与一致性。
未来,人生就是博(中国区)官方网站将继续秉持“手艺引领、品质卓越”的理念,深耕半导体先进洗濯领域,一连迭代性能水洗濯手艺,以更具立异性、高效性、环保性的解决计划,赋能全球半导体工业升级,突破高端洗濯手艺壁垒,推动半导体洗濯领域向绿色化、细腻化偏向生长,为全球半导体工业高质量生长孝顺更多“捷佳”实力。