管式低压硼扩散炉
管式低压硼扩散炉
手艺特点 Features
· 成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与运送手艺。
· 配套相关专利手艺。
· 奇异双嵌套炉门结构。
· 高速平稳整体模组推舟机构。
· 智能化全自动控制。
· 自主知识产权MES软件。
· 匹配S.C智能化生产治理系统。
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管式等离子体多晶硅淀积炉
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管式扩散氧化退火炉
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