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管式原子层镀膜装备

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管式原子层镀膜装备

  手艺特点 Features  

· 单腔体设计，占地面积小，操作时间短；

· 顺应差别前驱体、差别质料的多层复合膜层镀膜，工艺拓展空间大；

· 准确控制薄膜厚度和匀称性，成膜结构致密、高保形、低缺陷密度、性能优异。



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