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双面卷绕溅射镀膜装备

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双面卷绕溅射镀膜装备

  手艺特点 Features  

· 一步法双面镀膜，单面厚度30 nm~1000 nm  ；

· 实现3~50 m/min工艺走速、1650大宽幅 ；

· 镀膜腔可拓展，实现多种工艺和高速镀膜 ；

· 破空隔离：实现不破空快速换卷 ；

· 镀膜历程自动控制，主辊冷却 PID 温控调理，盘算机界面操作。



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