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单面卷绕溅射镀膜机(三腔)

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单面卷绕溅射镀膜机(三腔)

  手艺特点 Features  

· 镀膜腔可拓展,实现多种工艺,高速沉积;

· 接纳等离子外貌处置惩罚,有用提高膜层的结协力;

· 多腔溅射工艺室,提高生产效率;

· 设置多组隔离溅射腔,可以实现多种质料沉积;

· 可定制幅宽300~1650 mm;

· 实现在线光学检测,在线方阻检测;

· 全自动卷绕控制系统,纠偏系统。



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