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管式氧化铝原子层淀积炉(边沿钝化)

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管式氧化铝原子层淀积炉(边沿钝化)

  手艺特点  Features  

· 可知足TOPCon 高效电池切片后的边沿钝化处置惩罚 。

· 大产能设计 ,兼容多分片升级 ,可知足客户定制化需求 。

· 实现原子层级膜厚精准控制 ,膜层匀称性优异 。

· 每管反应腔体自力运行 ,维护周期达季度级别 ,包管装备高效稳固运行 。

· 已通过客户端批量可靠性认证 ,性能体现优异 。




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