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反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜一体装备（PAR）

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反应式等离子体镀膜与磁控溅射镀膜一体装备（PAR）

  手艺特点 Features  

· 集成磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜；

· 产品系列从研发装备至量产装备周全结构；

· 量产产能：100 MW ，250 MW ，600 MW。



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