手艺特点 Features
· 镀膜腔可拓展,实现多种工艺,高速沉积;
· 接纳等离子外貌处置惩罚,有用提高膜层的结协力;
· 多腔溅射工艺室,提高生产效率;
· 设置多组隔离溅射腔,可以实现多种质料沉积;
· 可定制幅宽300~1650 mm;
· 实现在线光学检测,在线方阻检测;
· 全自动卷绕控制系统,纠偏系统。
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