手艺特点 Features  

· 接纳等离子和石墨靶预处置惩罚装置，有用提高膜层的结协力
；

· 双溅射工艺腔室，单腔镀膜时间减半，更短生产节奏
；

· 设置多组溅射靶，可以实现多质料高效率沉积
；

· 多蒸发舟间距无级可调，ES距离可微调，注射泵精准控制补液计量，包管产品抗油污性能
；

· 大直径镀膜鼓设计，定制化挂板计划，有用提高产能
；

· 自动化控制上下板历程，门阀、轨道清静检测，包管操作清静性
。