全自动石英舟装卸片机
全自动石英舟装卸片机
手艺特点 Features
· 接纳龙门式机构装卸硅片（或入口六轴机械手装卸硅片）+ 六轴机械手搬运片篮，双事情位切换装卸片，确保装备高效产能和装备可靠性。
· 顶齿、吸盘主要零部件接纳特殊材质及加工工艺，最大降低顶齿/ 吸盘对硅片的损伤；特殊结构可实现顶齿、吸盘单片快速替换。
· 控制程序结构�？榛�，HMI 通过网络通讯实现与PLC 高速数据交互，便于装备功效扩展与装备维护；装备具有友好的人机界面和完善的检测报警系统，包管装备自动运行稳固，操作定心。
· 装备可匹配MES 功效；装备可选配方阻检测等检测模组；装备可匹配AGV 智能生产线；我司可凭证客户需求定制个性化功效。
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全自动石墨舟装卸片机
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全自动硅片上/下料机
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