手艺特点  Features  

· 产能：600片/批，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，17280片/小时（182硅片）。

· 工艺槽循环量可调。

· 制绒金字塔匀称，刻蚀深度可调。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 清洁干燥区域，自清洁干燥系统。

· 低H₂O₂ 消耗。

· 快速换液，在线换液。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功效。