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板式透明导电薄膜沉积装备(RPD/PAR)

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板式透明导电薄膜沉积装备(RPD/PAR)


  手艺特点  Features  

· PVD具有多阶阴极，可以制备种子层与多种折射率的叠层TCO。

· RPD具有无高能离子轰击衬底特点，能制备高少子迁徙率的TCO。



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