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单晶槽式制绒装备

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单晶槽式制绒装备

  手艺特点  Features  

· 产能：600片/批 ，14400片/小时（210 硅片）；720片/批 ，17280片/小时（182硅片）。

· 工艺槽循环量可调。

· 制绒金字塔匀称 ，刻蚀深度可调。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 清洁干燥区域 ，自清洁干燥系统。

· 低H2O2 消耗。

· 快速换液 ，在线换液。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功效。


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